設(shè)備用途：用于大規(guī)模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光    電器件、光導(dǎo)纖維等行業(yè)的氧化、擴(kuò)散、燒結(jié)、合金等工藝。設(shè)備特點(diǎn)：單元組合方式。根據(jù)工藝的不同，可以在主機(jī)的基礎(chǔ)上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。    主要技術(shù)指標(biāo)：

★  爐管數(shù)：      1～4管

★  配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)

★  恒溫區(qū)長度：  760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

★  單點(diǎn)穩(wěn)定性：  ±1.0℃/24h (300～800℃)±0.5℃/24h (800～1280℃)

★  氣源路數(shù)：    ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點(diǎn)火器

★  氣體控制：    浮子/質(zhì)量流量計(jì)

★  懸臂舟參數(shù)：  速度：  20～1000 mm/min  大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 大載荷：17 Kg

★  超凈工作臺：  凈化等級：100級（萬級廠房）噪音：    ≤62dB（A）振動：    ≤3μm