PLASMA等離子清洗機的幾種頻率區(qū)別與運用

等離子清洗設備英文叫（Plasma Cleaner）又稱等離子體清洗機,等離子清洗器,等離子清洗儀,等離子刻蝕機，等離子表面處理機,電漿清洗機，plasma清洗機，等離子去膠機，等離子清洗設備。等離子清洗機/等離子處理機/等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子處理和等離子表面處理等場合。通過其等離子表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。
常用的等離子體激發(fā)頻率有三種
激發(fā)頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，2.45GHz的等離子體為微波等離子體。
 不同等離子體產生的自偏壓不一樣，超聲等離子體的自偏壓為1000V左右，射頻等離子體的自偏壓為250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，而且三種等離子體的機制不同。
超聲等離子體發(fā)生的反應為物理反應，射頻等離子體發(fā)生的反應既有物理反應又有化學反應，微波等離子體發(fā)生的反應為化學反應。超聲等離子體清洗對被清潔表面產生的影響**，因而實際半導體生產應用中大多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。而超聲等離子則應用于表面除膠、毛刺打磨等處理方面效果**，典型的等離子體物理清洗工藝是在反應腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗；氬氣本身是惰性氣體，等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應，而是通過離子轟擊使表面清潔。
典型的等離子體化學清洗工藝是氧氣等離子體清洗。通過等離子體產生的氧自由基非常活潑，容易與碳氫化合物發(fā)生反應，產生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發(fā)物，從而去除表面的污染物。 以物理反應為主的等離子體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM），其優(yōu)點在于本身不發(fā)生化學反應，清潔表面不會留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學純凈性，還有一種等離子體清洗是表面反應機制中物理反應和化學反應都起重要作用，即反應離子腐蝕或反應離子束腐蝕，兩種清洗可以互相，離子轟擊使被清洗表面產生損傷削弱其化學鍵或者形成原子態(tài)，容易吸收反應劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產生反應；選用40KHZ超聲等離子再加入適當的反應氣體，可以有效去除膠質殘渣、金屬毛刺等等，2.45GHz的微波等離子常用于科研方面及實驗室

等離子清洗機 / 等離子刻蝕機 / 等離子處理機 / 等離子去膠機 / 等離子表面處理機
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     GDR-PLASMA   煙臺金鷹科技有限公司成立于1995年，是專業(yè)從事真空及大氣等離子清洗機、等離子處理機、等離子刻蝕機、等離子去膠機、等離子灰化機、等離子表面處理機、等離子表面處理設備，射頻及微波等離子體技術研發(fā)、推廣、銷售于一體的高新技術企業(yè)，隸屬于戈德爾等離子科技（香港）控股有限公司，總部設于香港 。 
      公司品牌商標為:"戈德爾-Guarder”，引進德國先進等離子應用技術，其系列產品覆蓋大部分省市，并出口北美、澳洲、中東、東南亞等地區(qū)。
      煙臺金鷹，作為等離子清洗機/等離子處理機/等離子刻蝕機/等離子表面處理機專業(yè)制造企業(yè)，是認證企業(yè)，公司擁有的低壓、常壓等離子清洗及等離子表面處理技術，并有完備的生產加工設備，可為客戶提供特殊定制服務及短交期，已成為國內具規(guī)模化生產能力的全系列等離子清洗機、等離子處理機及等離子表面處理設備公司。
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