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鎳鈦外周血管直接真空退火爐

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詳細信息

該設備主要用于半導體芯片、集成電路芯片、探測器芯片、激光器芯片、金屬濺射薄膜壓敏芯片、紅外成像芯片、非制冷紅外熱成像芯片、氣體傳感器芯片、半導體電容式指紋辨識芯片、功率半導體器件、硅基輻射探測器的高真空低溫封裝工藝。

設備型號:TF300-100-HV-T10

額度溫度:300℃

工作溫度:RT-250℃

溫控精度:±1℃

加熱元件:紅外鹵素燈管(環形加熱)

加熱尺寸:100mm*400mm(Φ*L)

有效空間:90mm*250mm(Φ*L)

測溫元件:K型,共2只,1控溫,1監測

升溫速率:≤10℃/Min

加熱功率:4.8Kw

真空配置:分子泵+無油干泵(潔凈度高)

極限真空:3.0*10-4Pa(空爐、經凈化、室溫、充分脫氣)

工作真空:6.67*10-2Pa至6.67*10-3Pa

控制顯示:10英寸液晶觸摸屏



聯系方式
  • 聯系人: 李錦潮 先生
  • 電話: 021-18687423410
  • 真: 021-傳真號碼
  • 手機: 18687423410
  • 地址: 上海市 開發區六時涇路28號
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