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擴散爐--臥式氧化退火爐 青島晨立

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詳細信息
產地:qdchenlidianzi

一、管式擴散爐用途
管式擴散爐是我公司根據客戶需求個性化定制的高溫熱處理設備,用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝,我公司的高溫電爐關鍵部件全部采用進口部件,仿國外熱處理制造技術,已經被中科院、國內各大院校、國內多家廠家選為長期供貨商,團隊設計制造,可根據客戶不同需求定制,廠家直接供貨,質優價廉。
 

二、管式擴散爐特點  

軟著陸載片裝置

軟著陸送料裝置,避免了SiC槳的遮擋影響,提高了擴散均勻性,同時槳的清洗周期大幅度延長。

溫度控制

新型爐體設計,提高了溫度穩定性;配合溫控儀的使用,保證工藝過程中溫度的快速穩定。

進口元器件組合

關鍵件采用進口管件,且為半導體級別;的元器件組合,從而保證成膜質量。
         

三、管式擴散爐主要技術參數                             

工藝管數量:1-4

工藝管口徑:Φ90-360mm312英寸)

工作溫度范圍:4001280

恒溫區長度及精度±0.5/1080mm

工藝均勻性:≤±5%(30~60歐姆)

氣體流量設定精度:±1F.S

氣路系統氣密性: 1×10-7pa.m3/s

超凈工作臺:凈化等級:100級(萬級廠房) 噪音:≤62dBA 震動:≤3μm

控制方式: 工業微機控制

記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制


我公司可根據客戶要求,定制各式擴散爐、退火爐、燒結爐、真空焊接爐、CVD


爐、加熱電爐及加熱裝置等,歡迎廣大客戶來電咨詢。


聯系方式
  • 聯系人: 姜經理 先生
  • 職位: 銷售經理
  • 真: 0532-88533525
  • 電話: 0532-88533525
  • 手機: 13954285618
  • 址: 山東省 青島市 山東省青島市即墨區泰山三路285號聯東U谷即墨科技創新谷3號樓
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