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一、管式擴散爐用途
管式擴散爐是我公司根據客戶需求個性化定制的高溫熱處理設備,用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝,我公司的高溫電爐關鍵部件全部采用進口部件,仿國外熱處理制造技術,已經被中科院、國內各大院校、國內多家廠家選為長期供貨商,團隊設計制造,可根據客戶不同需求定制,廠家直接供貨,質優價廉。
二、管式擴散爐特點
◆軟著陸載片裝置
軟著陸送料裝置,避免了SiC槳的遮擋影響,提高了擴散均勻性,同時槳的清洗周期大幅度延長。
◆溫度控制
新型爐體設計,提高了溫度穩定性;配合溫控儀的使用,保證工藝過程中溫度的快速穩定。
◆進口元器件組合
關鍵件采用進口管件,且為半導體級別;的元器件組合,從而保證成膜質量。
三、管式擴散爐主要技術參數
◆工藝管數量:1-4管
◆工藝管口徑:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆工作溫度范圍:400~1280℃
◆恒溫區長度及精度±0.5℃/1080mm
◆工藝均勻性:≤±5%(30~60歐姆)
◆氣體流量設定精度:±1%F.S
◆氣路系統氣密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超凈工作臺:凈化等級:100級(萬級廠房) 噪音:≤62dB(A) 震動:≤3μm
◆控制方式: 工業微機控制
◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制
我公司可根據客戶要求,定制各式擴散爐、退火爐、燒結爐、真空焊接爐、CVD
爐、加熱電爐及加熱裝置等,歡迎廣大客戶來電咨詢。